對于物理法提純的硅微粉來說，除了磷和硼會同時存在外，還有鐵、鋁、鈣等金屬雜質(zhì)，即便是化學(xué)提純，也能通過加工的時候混入其他雜質(zhì)，也會出現(xiàn)復(fù)雜的情況。同時，對于一些采用電子級回收料（次級料、重?fù)搅希?、單晶頭尾料、鍋底料，單晶及多晶的邊角料與原生多晶硅微粉混摻拉晶的情況，雜質(zhì)的成分則更為復(fù)雜由于現(xiàn)在多晶硅微粉價格高，據(jù)研究表明我國內(nèi)幾大公司生產(chǎn)電池，幾乎沒有哪個太陽能公司用純的原生多晶硅微粉來制作太陽能電池，全部是用的摻料之后才拉單晶制成的硅片。這樣看來，硅微粉中雜質(zhì)的分析，似乎不僅僅只對物理法多晶硅微粉有意義了。目前，采用物理法提純得較好的硅微粉，通常在硅材料中所剩余的金屬雜質(zhì)量在0.1ppm以上的，只有鐵、鋁、鈣三種，而提純得不好的硅微粉，里面除了上述三種外，還有鈦、錳、鎢、鈷、釩、鉻等。