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硅微粉中的鐵

發(fā)布時(shí)間:2022-05-24 15:20:42人氣:

而對(duì)于鐵,因?yàn)槭沁^(guò)渡金屬,因此,完全看不到會(huì)有什么好的作用。有研充表明:鐵在硅微粉中。會(huì)與棚也產(chǎn)生類似的復(fù)合體的作用,造成少子壽命的減少,而且,研鐵的相對(duì)作用:會(huì)因光照或溫度而造成反復(fù)。這種現(xiàn)像,也從對(duì)物理法多晶硅微粉的進(jìn)一步的深入試驗(yàn)中得到了證實(shí),但其中的機(jī)理和物理模型!則正在研究階段中。根據(jù)初步分析,硼鐵的作用,應(yīng)當(dāng)比硼氧復(fù)合體理論,更能解釋物理法多晶硅的光致表藏作用。鐵的分凝系數(shù)很小,因此,通過(guò)定向溪固是比較容易去除的。它之所以在物理法多晶硅中成為比較難以去除的雜質(zhì),主要還是因?yàn)樵现械暮窟^(guò)大〈通常大于1000ppm〉.以及在提純過(guò)程中,容易受到污染所致建中的雜質(zhì)還有鈦,鎢,錳等,這些雜質(zhì)由于自身的特性,會(huì)與氧、氮等結(jié)合。 

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