硅微粉中的碳元素主要來源：硅礦自帶的碳元素、一是金屬硅吹氧不充分，可能將一些碳元素帶入硅材料中，除硅中的碳元素另外，在多晶硅和單晶硅微粉材料中，由于通第采用石墨加熱件和碳氈保溫體，因此在高溫下，因此會有碳蒸汽的揮發(fā)，進入到硅微粉材料中，也會增加硅中的碳含量。但由于碳的分凝系數(shù)只有0.07。因此，在定向凝固時，碳將聚集在硅錠的頂都，或單晶硅坩堝的鍋底，碳與硅同族，一次碳在硅中不會產(chǎn)生施主或受主作用。不過碳的存在還是會對硅的性質(zhì)產(chǎn)生一定的影響，通常，在直拉單晶和多晶硅鑄錠的時候，碳自身時很難形成沉淀的，也很難與氧生成氧沉淀或碳氧復(fù)合體，但是如果在從高溫到低溫又向高溫進行退火處理的時候，則硅中的碳濃度和氧濃度同時發(fā)生變化，因此：有專家推測在退火過程中，碳原子能夠成為氧沉淀的核心：形成原生氧沉淀但這種沉淀是不穩(wěn)定的，在高溫下，又會溶解，導(dǎo)碳氧濃度又上升，從而對材料產(chǎn)生影響。